La pompe à vide DVE à joint d'huile est la pompe à vide à palettes rotatives DVE, qui est généralement la pompe à vide DVE de l'étage avant de l'unité de vide. Ce type de pompe comprime divers gaz mélangés à la pression atmosphérique et les rejette dans le tuyau d'échappement dans une plage de 60 ~ 100 ℃.

Si la pression, la concentration et la température des produits dangereux dans la pompe sont relativement élevées, ces substances s'accumulent dans la pompe et les accessoires de la pompe, et ces substances entrent en contact avec l'air environnant dans le tuyau d'échappement, etc., ce qui constituera dangers potentiels.

Pour les gaz dangereux utilisés ou générés dans la fabrication de semi-conducteurs, des méthodes de mesure appropriées doivent être prises pour éviter les incendies et les explosions, pour assurer le fonctionnement normal de l'équipement et pour empêcher l'empoisonnement aigu ou chronique des opérateurs, du personnel de maintenance et du personnel de service. Pour des raisons de sécurité, des pompes à vide DVE et des accessoires appropriés avec une puissance de pompage suffisante devraient être équipés, et des méthodes d'exploitation et de maintenance raisonnables devraient être adoptées, et des dispositifs de surveillance appropriés devraient être équipés.
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