Lors de la conception et du calcul du système de vide, les pompe à vide qui évacue directement le récipient sous vide est appelée pompe principale, et la pompe à vide qui maintient la pression primaire d'une autre pompe en dessous de la pression primaire critique est appelée pompe primaire. Afin de pomper rapidement la pompe à vide de la pression atmosphérique à la pression où la pompe principale peut commencer à fonctionner, on l'appelle une pompe à vide de pré-pompage. Pour un système de vide, la pompe primaire du système est souvent doublée d'une pompe de pré-vide. La sélection de pompe mentionnée ici se réfère à la sélection de la pompe principale. En ce qui concerne l'attribution de la pompe, au sens étroit, cela fait référence à l'adéquation correcte de la pompe principale avec une pompe secondaire raisonnable, et au sens large, cela inclut la sélection de la pompe secondaire et de la pompe de pré-pompage. L'équipement de base du système de vide est la pompe à vide, et l'étape clé de la conception du système de vide est la sélection et la distribution de la pompe.
Le contenu spécifique de la sélection de la pompe consiste à déterminer le type de pompe principale et à déterminer la taille de la pompe principale. Les principes de sélection des pompes sont technologiquement fiables, économiquement raisonnables, technologiquement avancés, optimisés pour le système et conformes à la forme.
Pour déterminer le type de pompe principale, la première chose à considérer est la faisabilité et la fiabilité. Il doit être basé sur le degré de vide ultime et le degré de vide de travail à atteindre par la pompe à vide (le degré de vide ultime de la pompe principale est légèrement supérieur au degré de vide ultime de la chambre à vide), selon le gaz pompé. Le type, la proportion de chaque gaz et l'inclusion de poussière dans le gaz, etc., sélectionnent la pompe à vide qui répond aux exigences du processus. Lorsque deux ou plusieurs types de pompes différents conviennent aux conditions ci-dessus, une pompe à vide économiquement raisonnable doit être sélectionnée en fonction d'indicateurs économiques tels que l'investissement initial et les coûts d'entretien quotidiens. Ensuite, comparez davantage l'environnement et les autres conditions, et sélectionnez la meilleure. Pour cette raison, il est nécessaire de partir de l'ensemble du système de vide et de le considérer de manière globale, et il ne doit pas être déterminé uniquement en comparant la pompe à vide.
La taille de la pompe principale est déterminée en fonction de la pression de travail requise par la chambre à vide et du volume d'échappement maximal dans la chambre. La pression de travail dans la chambre à vide doit être sélectionnée dans la plage de pression de vitesse de pompage optimale de la pompe principale. De plus, la taille de la chambre à vide et le temps de pompage doivent également être pris en compte, car sous un certain temps de pompage, plus le volume de la chambre à vide est important, plus la vitesse de pompage de la pompe principale est élevée.